高溫和催化劑燃燒是目前處理有機廢氣的兩種重要方法。這種廢氣處理設備的工作原理在一定程度上是相似的，但原理不同，效果也不同。我們可以一起理解。

 

 

 

【催化燃燒設備】燃燒方法是利用溫度明顯高于燃點的有機物進行強燃燒，氧化，通常可采用直接燃燒、催化劑燃燒兩種方法。一般情況下，直接燃燒主要在650℃~ 850℃的高溫容器中進行。其中沸石濃縮流道焚燒法是IC企業廣泛采用的一種有機廢氣處理技術。有機廢氣進入沸石輪時,通過使用***量的有機合成的沸石吸附氣體,從而形成了一個相對干凈的空氣,然后將生產清潔空氣進入***氣層,持續到加工周期的另一部分,它將有效地減少后續處理成本的處理過程。使用沸石集中器輪將集中廢氣低濃度條件下,***風量高濃度和小風量,然后將它轉換成環保的二氧化碳和水通過直接燃燒,從而達到去除有機廢氣的目的。在整個過程中，通過對沸石砂輪的動態吸附和分析過程，由于不存在吸附劑飽和的問題，只有通過調節砂輪的轉速、再生溫度、風量等，才能達到較***的濃度效果。

 

 

有機廢氣濃度可達5 ~ 20倍，去除率可達90%左右。然而，直接燃燒法需要較高的燃料成本。

 

 

 

然而，催化燃燒可以降低整個過程所需的反應溫度。一般來說，在高于有機物燃點100℃的溫度下，氧化反應可以快速完成。整個反應過程中使用的催化劑物質主要有金屬氧化物(如Cr2O3、CuO)和一些稀有金屬(如Pd、Ag、Au)。通過將它們覆蓋在反應體表面，可以發生相應的反應:

VOC + O2(空氣)→二氧化碳+水

在整個過程中，通過使用催化劑燃燒，廢氣溫度可降低約250-400℃，有效降低燃燒熱的消耗。催化劑焚燒的整個過程相對簡單。整個過程中需要的系統組件如圖1所示，包括預熱器、催化劑床、換熱器、風機、溫度和通風量控制單元等。

 

 

其中，催化劑床是整個過程的主要設備，反應溫度保持在250-400℃之間，這對于催化劑類型的選擇尤為重要。一般情況下，需要考慮催化劑的具體反映性質、所造成的壓力損失、使用壽命以及維護安裝的便利性。

 

 

但在整個反應過程中應避免以下情況:

***先，應避免高溫失活的問題。正常情況下，催化劑的出口溫度應在650℃以下，具體溫度應根據催化劑類型確定，否則會造成催化劑燒結問題，降低催化劑活性。

 

 

其次,為了避免催化劑中毒的問題,如果廢氣包含有毒物質的催化劑,如organosilicide、金屬和磷化,等等,這些物質會使催化劑燃燒成無機物質,然后堅持催化劑的表面,所以催化劑失去活性和反應效率降低。

 

 

***三，避免表面遮蓋問題。如果廢氣中含有焦油等物質，冷凝后會使其變成粘性液體，這將覆蓋催化劑的表面，從而影響催化劑的使用。工業廢氣處理